[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정

작성자 최고관리자

작성일 22-08-11 13:43

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[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정 넥센서,

SIMTOS 2022에서 현미경 간섭계 센서 선보여

[산업일보]

심토스(SIMTOS) 2022에 참가한 넥센서(nexensor)가 현미경 간섭계 센서를 비롯해 다양한 측정 솔루션을 참관객들에게 소개했다.

이 회사 성현석 영업이사는 “간섭 측정법을 적용한 현미경 간섭계 센서 nXI-5는 작은 영역을 대상으로 정밀한 측정이 가능하다. 조도·두께·단차 측정이 가능해

반도체의 미세 구조 측정, 범프, 거칠기, 디스플레이의 컬럼 스페이서, 표면 구조 등을 측정할 수 있다”라고 했다.