광 계측 원천기술

광 간섭을 이용한 형상/두께측정 패턴 조사를 이용한 형상 측정 박막 두께 측정 기술

측정 알고리즘 및 SW 기술

측정알고리즘 수학 모델링 측정알고리즘 고속화 기술 측정데이터 분석 알고리즘 및 SW 기술

회로 및 Opto-mechanics

광원 제어 기술 실시간 동기화 기술 Digital Mirror Device 회로 설계 기술 FPGA, DSP, ARM 코어 이용한 회로설계