Displacement Sensors
nXC-1
색공초점 변위&두께 측정센서
다양한 NA 측정헤드로 미세하고 투명한 제품의 표면 고속, 정밀 측정
nXC-1은 공초점 측정 원리를 이용해 정밀한 변위 및 두께를 측정합니다. 거칠표면이나
반사표면에서도 변위 및 거리 측정이 가능하며 측정 포인트를 측정 대상체에 따라
다양하게 적용할 수 있습니다. 높 은 분해능과 매우 빠른 속도로 측정이 가능하기 때문에
다양한 제조라인에 활용될 수 있습니다. 다양한 반사 표면을 가진 제품을 측정하기 위해 실시간으로 보정을 진행하며 유효한 신호를 분리하여
측정 정확도를 높입니다. 다양한 NA를 가진 측정헤드로 미 세한 표면형상, 기울이가 큰 각도의 표면을
측정하는데 매우 유리합니다. 투명한 제품의 표면, 두께를 측정할 수 있으며 불투명한 제품의
두께 측정도 가능합니다.
반사표면에서도 변위 및 거리 측정이 가능하며 측정 포인트를 측정 대상체에 따라
다양하게 적용할 수 있습니다. 높 은 분해능과 매우 빠른 속도로 측정이 가능하기 때문에
다양한 제조라인에 활용될 수 있습니다. 다양한 반사 표면을 가진 제품을 측정하기 위해 실시간으로 보정을 진행하며 유효한 신호를 분리하여
측정 정확도를 높입니다. 다양한 NA를 가진 측정헤드로 미 세한 표면형상, 기울이가 큰 각도의 표면을
측정하는데 매우 유리합니다. 투명한 제품의 표면, 두께를 측정할 수 있으며 불투명한 제품의
두께 측정도 가능합니다.
Key Features
· 다양한 NA
(Numerical Aperture, 개구수)
측정 헤드
(Numerical Aperture, 개구수)
측정 헤드
· 투명/불투명한 제품의
미세한 표면, 두께 측정
미세한 표면, 두께 측정
· 비전 카메라와 결합하여,
x,y,z 3차원 좌표측정 및
측정위치를 정확히 확인
x,y,z 3차원 좌표측정 및
측정위치를 정확히 확인
APPLICATIONS
Wafer stage positioning
Lens curvature measurement
Glass thickness measurement
Wafer warpage measurement
Specifications
제품사양문의
Contact us
Latest News
| 측정모델 | 측정기술 | 테스트내용 | 측정데이터 |
|
WSI간섭계 대면적 측정 FOV 확대 적용 | Micro Bump Height 단층 박막 두께 측정 PCB 미세 패턴 가공 표면 거칠기 측정 센서 단차 측정 |
|
|
Free-Form Metrology
제품 곡면 각도에 따라 분할 검사도 가능함
|
렌즈, 유리 표면 검사 및 형상 측정
OLED 표면 검사 및 형상 측정
웨이퍼 표면 검사 및 형상 측정
|
|
|
투명, 반투명 제품의 실시간 두께 측정
Multi Ch. 적용 가능
|
웨이퍼(실리콘, 사파이어) 두께 측정
유리 및 필름 두께 측정
|
|
